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液體汽化流量的流量控制

通過將液體質量流量計 （LM-3000L） 與 Lintec 制造的內置控制閥的蒸發器 （VU） 相結合，可以控制在汽化室之前引入蒸發器的流量。 因此，實現了高響應性汽化的流量控制，而不受汽化器熱量的影響。

液體流量控制

通過將 Lintec 控制閥 （CV-1000） 與內置 PID 控制器的液體質量流量計 （LM-3000L） 相結合，它可以用作液體質量流量控制器。

在半導體制造過程中，TEOS 等液體源比氣體更昂貴且更易于處理，它們會蒸發和變形。 在制造工藝方面，供應量很大，而且許多最新的原材料都是低蒸氣壓材料。 由于供料量和耐熱溫度是使用氣體 MFC 的傳統烘烤方法的瓶頸，因此需要一種溫度限制較少且供料量大的直接汽化方法。 但是，在直接汽化法中，反應氣體的流速是在液相中控制的，因此一個小的誤差就會對反應產生很大影響。

以 H2O 為例，當 1 ml 液相在理想狀態下汽化時，它會膨脹到 1,244 ml。 它已成為半導體制造設備中不可或缺的技術，它控制液體流速、蒸發并與之反應，這需要對微小流速進行高精度流量控制。

流量控制裝置包括 1 ml/min 或更低的計量泵，但計量泵連續執行機械切換作，從而導致脈動。 沒有機械切換的注射泵不會產生脈動，但泵的體積有限，因此不適合連續進料。

此外，當液體以受控流量引入真空裝置時，由于計量泵中的壓差，流量不穩定。

液體質量流量控制器的流量控制是將氣體等加壓至恒定壓力的液體引入液體質量流量控制器，通過內部流量傳感器檢測瞬時流量，并持續控制閥門開度，從而無論二次側是否減壓或大氣壓，都可以控制流量恒定。